Relation of hardness and oxygen flow of Al2O3 coatings deposited by reactive bipolar pulsed magnetron sputtering

Bobzin, Kirsten; Lugscheider, Erich; Maes, Michael; Pinero, Carmen

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2006)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 494
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 255-262

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