Optical emission spectroscopy studies of titanium nitride sputtering on thermoplastic polymers

Lugscheider, Erich; Neuhäuser, M.; Bärwulf, Stephan; Hilgers, H.; Riester, M.

Lausanne : Elsevier Sequoia (1999)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 116/119
Seite(n)/Artikel-Nr.: 981-985

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