Effect of the Substrate Geometry on Plasma Synthesis of DLC Coatings

Bobzin, Kirsten; Bagcivan, Nazlim; Göbbels, Nico; Yilmaz, Koray

Weinheim : Wiley (2009)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Plasma processes and polymers
Band: 6.2009
Heft: 6/7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 425-S428

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