High power pulsed magnetron sputtering: fundamentals and applications

Alami, Jones; Bolz, Stephan Frédéric; Sarakinos, Kostas

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2009)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of alloys and compounds : JAL
Band: 483.2009
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 530-534

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
• Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]
• Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]