Abscheidung von Weichaktivloten für die Anwendung in der Microsystemtechnik mittels gepulstem Magnetron Sputter PVD-Verfahren

Lugscheider, Erich; Bobzin, Kirsten; Maes, Michael; Erdle, Anja

Frankfurt : MAT INFO Werkstoff-Informationsges. (2005)
Contribution to a conference proceedings

In: Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde : [Vortragstexte des 15. Symposiums Verbundwerkstoffe und Werkstoffverbunde, 6. - 8. April 2005, Kassel / DGM. Hrsg. von M. Schlimmer
Page(s)/Article-Nr.: 299-304