Optical Emission Spectrograph (OES) – TRIAX-180
Der Monochromator TRIAX-180 der Firma HORIBA Jobin Yvon zeichnet sich durch seine kompakte Bauform und eine gute Wellenlängenauflösung von 0,3 nm bei einem Gitter mit 1.200 Linien/mm aus. Zusammen mit der Kamera PULNIX TM-6CN und der leistungsstarken Software Plasus Monitor ergibt sich ein optischer Emissionsspektrograph (OES), der eine gute Abbildung und eine gute Transportfähigkeit vereint. Durch den austauschbaren Gitterturm, der Platz für drei Gitter (z.B. 300, 600 und 1.800 Linien/mm) bietet, ist der OES sehr flexibel. Somit kann die Plasmazusammensetzung bestimmt und Beschichtungsprozesse optimiert werden. Durch die volle Automatisierbarkeit der OES-Messeinheit ist es ebenso möglich, diese gezielt für in-situ Messungen zur Prozesssteuerung einzusetzen. Ein Beispielspektrum ist hier abgebildet, bei dem die Intensitätsabnahme einer Al3+-Spektrallinie über den Sauerstoffgasfluss aufgetragen ist.
Technische Daten:
| Parameter | Wert [Einheit] |
|---|---|
| Brennweite |
0,19 m |
| Gittergröße | 50 x 50 mm |
| Auflösung | 0,2 nm |
| Dispersion | 2,35 nm/mm |
| Genauigkeit | ± 0,2 nm |
| Reproduzierbarkeit | ± 0,04 nm |
| Schrittgröße |
0,06 nm (nominal) |
| Spalt |
0 – 2 mm in 2 µm Schritte |
| Kamera | 752 (H) x 582 (V) Pixel |