Massenspektrometer Inficon Transpector 2
Die Massenspektroskopie ist, zusammen mit der optischen Emissionsspektroskopie, eines der am häufigsten eingesetzten Diagnostiken, die zur Analyse von Plasmen eingesetzt werden. Sie erlaubt es neben dem Messen der internen Plasmaparameter diese direkt zur Überwachung sowie der Kontrolle der Prozesse einzusetzen. Mittels der Massenspektroskopie lassen sich Rückschlüsse auf die chemische Zusammensetzung des Plasmas ziehen. Mit Hilfe des Massenspektrometers Inficon Transpector 2, Leybold GmbH, Köln, Deutschland, ist es möglich, eine Restgasanalyse durchzuführen und die aufgezeichneten Daten direkt für eine Prozessregelung zu verwenden.
Technische Daten:
| Parameter | Wert [Einheit] |
|---|---|
| Detektortypen |
EM/FC |
| Detektionsbereich | 1 bis 100 amu |
| Minimal detektierbarer Partialdruck | FC: N/A EM: 6,6·10-15 mbar |
| Maximaler Verwendungsdruck | 6,6·10-4 mbar |
| Temperaturbereich | 20 °C bis 50 °C |