Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDX)
Die Messung mittels energiedispersiver Röntgenanalyse (EDX) wird im Strahlengang des Rasterelektronenmikroskops (REM) durchgeführt. Zur Elementbestimmung wird das Röntgenspektrum der mit Elektronen beschossenen Proben ausgewertet. Durch Stoßvorgänge von Primärelektronen mit Elektronen auf den inneren Schalen der Prüfkörperatome werden Schalenelektronen herausgelöst. Um einen niedrigeren energetischen Zustand einzunehmen, springt ein Elektron der äußeren Schale unter Aussendung des Energiequants auf die Lücke des emittierten Elektrons. Die Energie bzw. Wellenlänge hängt vom Energielevel der Elektronenbahnen ab und ist somit der Atomart fest zuzuordnen. Sie wird charakteristische Röntgenstrahlung genannt. Für die Analyse der Strahlung werden zwei Verfahren angewandt: WDX und EDX. Bei dem wellenlängendispersiven Verfahren wird die Strahlung durch die Wellenlänge, bei dem energiedispersiven Verfahren durch die Energie identifiziert.