Glimmentladungs-emissionsspektrometer JY 5000 RF
Die Glimmentladungsemissionsspektrometrie (GDOES) wird für qualitative und quantitative Elementanalysen von Festkörpern eingesetzt. Mit dem Glimmentladungsspektrometer JY 5000 RF, HORIBA Jobin Yvon GmbH, Bensheim, Germany, ist es möglich Analysen der chemischen Elemente von Festkörpern und Beschichtungen durchzuführen. Grundlage der Messung ist die Zerstäubung des Probenmaterials durch ein Radiofrequenz (RF)-Plasma mit einer anschließenden spektralen Analyse der Emissionsspektren der gesputterten Spezies. Dabei lässt sich qualitativ die Zusammensetzung des Materials anhand der für jedes Element charakteristischen Lage der Spektrallinien bestimmen. Weiterhin kann eine quantitative Analyse entsprechend der relativen Intensitäten der Spektrallinien durchgeführt werden.
Technische Daten:
| Parameter, [Einheit] | Wert |
|---|---|
| Spektralbereich, λ [nm] | 110 ≤ λ ≤ 620 |
| Spektrale Auflösung, R [pm] | 18 ≤ R ≤ 25 |
| Computerunterstützte Parameterüberwachung | |
| Analyse von leitenden und nichtleitenden Materialien |