Simulative und plasmadiagnostische Untersuchungen des Magnetron Sputterns

Parkot, Daniel; Bobzin, Kirsten (Thesis advisor)

Aachen : Shaker (2011)
Dissertation / PhD Thesis

In: Schriftenreihe Oberflächentechnik 21
Page(s)/Article-Nr.: XVI, 159 S. : Ill., graph. Darst.

Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011

Institutions

• Chair of Surface Engineering [419010]