Prozeßsimulation des PVD MSIP Verfahrens

Lugscheider, Erich; Barimani, Cyrus; Eckert, P.

Aachen : Mainz (1997)
Buchbeitrag

In: Neue Entwicklungstrends in der Oberflächen- und Fügetechnik
Seite(n)/Artikel-Nr.: 75-83

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]