Hybrid reactive sputtering of transition metal aluminum oxynitrides

Bobzin, Kirsten; Kalscheuer, Christian; Carlet, Marco (Corresponding author); Schulze, Christoph Franz Robert

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2021, 2022)
Fachzeitschriftenartikel

In: Thin solid films
Band: 742
Seite(n)/Artikel-Nr.: 139028