Hybridprozessentwicklung zur Plasmasynthese temperaturbeständiger Kohlenstoffschichten

Bobzin, Kirsten; Nickel, Reimo; Bagcivan, Nazlim; Yilmaz, Koray

Jülich : Forschungszentrum (2008)
Fachzeitschriftenartikel

In: WING
Band: 2008