Deposition of a nanocomposite (Ti, Al, Si)N coating with high thickness by high-speed physical vapor deposition

• Herstellung einer (Ti, Al, Si)N-Nanokomposit-Beschichtung mit hoher Schichtdicke mittels Hochgeschwindigkeits-PVD-Beschichtung

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kalscheuer, Christian; Yildirim, Baycan; Liang, Tiancheng (Corresponding author)

Weinheim : Wiley-VCH (2020)
Journal Article

In: Materials science and engineering technology = Materialwissenschaft und Werkstofftechnik
Volume: 51
Issue: 3
Page(s)/Article-Nr.: 297-312