Beschichtungstechniken PVD und PECVD
Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kalscheuer, Christian (Corresponding author)
(2016)
Konferenzbeitrag
In: GfT Tribologie-Fachtagung 2016 Göttingen 2016-09-26 - 2016-09-26
Seite(n)/Artikel-Nr.: 87 Folien
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2018-226801