Space-resolved plasma diagnostics in a hybrid (Cr,Al)N process
Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Engels, Martin Gottfried (Corresponding author)
New York, NY : American Institute of Physics (2018)
Fachzeitschriftenartikel
In: Journal of vacuum science & technology / A
Band: 36
Heft: 3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 031515
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1116/1.5020151
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2018-224270