Correlation of the Debye sheath thickness and (Cr,Al)N coating properties for HPPMS, dcMS, CAE and PCAE processes

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Engels, Marita (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science (2017)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Surface and coatings technology
Band: 332
Seite(n)/Artikel-Nr.: 233-241

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