Fundamental study of an industrial reactive HPPMS (Cr,Al)N process

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Engels, Martin Gottfried (Corresponding author); von Keudell, A.; Hecimovic, A.; Ludwig, A.; Grochla, Dario; Banko, Lars

Melville, NY : American Inst. of Physics (2017)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of applied physics
Band: 122
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 015302