Synthesis of a-C coatings by HPPMS using Ar, Ne and He as process gases

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kalscheuer, Christian; Engels, Marita (Corresponding author)

Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science (2016)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Surface and coatings technology
Band: 308
Seite(n)/Artikel-Nr.: 80-89

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]