Investigation of Reactive HPPMS Process and Influence of Bias Voltage during Deposition of Alumina Coatings
Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Brugnara, Ricardo H.; Bastürk, Serhan (Corresponding author); Bagcivan, Nazlim
Weinheim : Wiley-VCH Verl. (2016)
Fachzeitschriftenartikel
In: Advanced engineering materials
Band: 18
Heft: 4
Seite(n)/Artikel-Nr.: 665-670
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1002/adem.201500417
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2016-06629