Verformungsverhalten nanostrukturierter HPPMS-Hartstoffschichten
Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Kruppe, Nathan Christopher; Arghavani, Mostafa (Corresponding author)
Weinheim : Wiley-VCH (2016)
Journal Article
In: Vakuum in Forschung und Praxis
Volume: 28
Issue: 3
Page(s)/Article-Nr.: 18-25
Institutions
- Chair of Surface Engineering [419010]
Identifier
- DOI: 10.1002/vipr.201600604
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-2016-05492