Hochleistungsplasmen zur Synthese diamantähnlicher Kohlenstoffschichten : Einfluss verschiedener Prozessgase und HPPMS-Pulsparameter auf die Plasmaeigenschaften

• HPPMS high-performance plasmas for the deposition of diamond-like carbon coatings Diamond-like carbon (DLC) coatings

Bobzin, Kirsten; Brögelmann, Tobias; Bastürk, Serhan; Engels, Martin Gottfried (Corresponding author)

Weinheim : Wiley-VCH (2015)
Journal Article

In: Vakuum in Forschung und Praxis
Volume: 27
Issue: 5
Page(s)/Article-Nr.: 22-28

Institutions

• Chair of Surface Engineering [419010]