Reproducible arc-PVD process management under various reactive gases
Knotek, Otto; Löffler, Frank; Krämer, G.; Stössel, C.
Kidlington : Elsevier Science [u.a.] (1992)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel
In: Vacuum
Band: 43
Heft: 5/7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 567-571
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
- Lehrstuhl für Werkstoffanwendungen im Maschinenbau [418110]
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1016/0042-207X(92)90079-C
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-086630