Reproducible arc-PVD process management under various reactive gases

Knotek, Otto; Löffler, Frank; Krämer, G.; Stössel, C.

Kidlington : Elsevier Science [u.a.] (1992)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Vacuum
Band: 43
Heft: 5/7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 567-571