Arc deposition of Ti-C and Ti-C-N using acetylene as a reactive gas

Knotek, Otto; Löffler, Frank; Krämer, G.

Kidlington : Elsevier Science [u.a.] (1992)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Vacuum
Band: 43
Heft: 5/7
Seite(n)/Artikel-Nr.: 645-648