Deposition of solder for micro-joining on M.E.M.S. components by means of magnetron sputtering

Lugscheider, Erich; Bobzin, Kirsten; Lake, Michael K.

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2001)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 142/144
Seite(n)/Artikel-Nr.: 813-816

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]

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