Comparison of the structure of PVD thin films deposited with different deposition energies

Lugscheider, Erich; Barimani, Cyrus; Wolff, C.; Guerreiro, S.; Döpper, G.

Lausanne : Elsevier Sequoia (1996)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 86/87
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 177-183