Simulation of the deposition process in PVD-technology

Lugscheider, Erich; Knotek, Otto; Barimani, Cyrus; Eckert, P.; Hayn, G.

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (1996)
Fachzeitschriftenartikel

In: Computational materials science
Band: 7
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 154-158

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]