Simulation of the film growth and film-substrate mixing during the sputter deposition process
Lugscheider, Erich; Hayn, G. v.
Lausanne : Elsevier Sequoia (1999)
Fachzeitschriftenartikel
In: Surface & coatings technology
Band: 116/119
Seite(n)/Artikel-Nr.: 568-572
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-022683