Simulation of the film growth and film-substrate mixing during the sputter deposition process

Lugscheider, Erich; Hayn, G. v.

Lausanne : Elsevier Sequoia (1999)
Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 116/119
Seite(n)/Artikel-Nr.: 568-572

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]