Arc Ion Plating Process Monitoring by Optical Emission Spectroscopy Exemplified for Chromium Containing Coatings

Bobzin, Kirsten; Bagcivan, Kirsten; Immich, Philipp; Theiß, Sebastian

Weinheim : Wiley (2009)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Plasma processes and polymers
Band: 6.2009
Heft: 6/7
Seite(n)/Artikel-Nr.: S357-S361

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
• Integrative Produktionstechnik für Hochlohnländer [080025]