High power pulsed magnetron sputtering: fundamentals and applications
Alami, Jones; Bolz, Stephan Frédéric; Sarakinos, Kostas
Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2009)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel
In: Journal of alloys and compounds : JAL
Band: 483.2009
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 530-534
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1016/j.jallcom.2008.08.104
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-013507