High power pulsed magnetron sputtering: fundamentals and applications

Alami, Jones; Bolz, Stephan Frédéric; Sarakinos, Kostas

Amsterdam [u.a.] : Elsevier (2009)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of alloys and compounds : JAL
Band: 483.2009
Heft: 1/2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 530-534