Monte-Carlo simulation of thin film PVD deposition processes

Lugscheider, Erich; Löffler, Frank; Schnaut, U.; Eckert, P.

(1995)
Beitrag zu einem Tagungsband

In: MRS Spring Meet. San Francisco 1995

Einrichtungen

• Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]