Monte-Carlo simulation of thin film PVD deposition processes
Lugscheider, Erich; Löffler, Frank; Schnaut, U.; Eckert, P.
(1995)
Beitrag zu einem Tagungsband
In: MRS Spring Meet. San Francisco 1995
Einrichtungen
- Lehrstuhl für Oberflächentechnik im Maschinenbau [419010]
Identifikationsnummern
- RWTH PUBLICATIONS: RWTH-CONV-174538