Nanoindenter
Der Nanoindenter "TriboIndenter TI950" der Fa. Bruker Corp., Bilerica, Massechusetts, USA, ehem. Hysitron Inc. ermöglicht u. a. die Bestimmung der Eindringhärte HIT und des Eindringmoduls EIT von Werkstoffen durch Kraft-Eindringprüfungen mittels Diamantprüfkörpern. Dieses Verfahren eignet sich insbesondere für die Analyse von Dünnschichten ohne Substrateinfluss mit Schichtdicken s ≤ 10 µm, bei dem der Nanomesskopf eingesetzt wird. Für höhere Lasten ist der TriboIndenter TI 950 ebenfalls mit einem Mikromesskopf ausgestattet. Bei dem Messverfahren wird der Eindringkörper Kraft- oder Weggeregelt in den Probenkörper bzw. Beschichtung gedrückt. Hierbei werden die aufgebrachte Kraft und die resultierende Eindringtiefe aufgezeichnet. Die Eindringhärte HIT wird aus dem Quotient aus maximaler Kraft und der projizierten Eindruckfläche des Indenters bestimmt. Der Eindringmodul EIT des Werkstoffs bzw. der Dünnschicht über die Steifigkeit S der Entlastungskurve bestimmt. Des Weiteren können mit dem TriboIndenter TI950 Nanoscratche sowie zyklische Untersuchungen durchgeführt werden.
Technische Daten:
| Parameter, [Einheit] | Nanomesskopf | Mikromesskopf |
|---|---|---|
| Max. Normalkraft, FN [mN] | 10,0 | 4,3 |
| Max. Normalkraftauflösung, RN, [nN] | ≤ 1 | ≤ 145 |
| Max Lateralkraft, FL [mN] | 2,0 | 4,7 |
| Max. Lateralkraftauflösung, RL [nN] | ≤ 3 | ≤ 340 |
| Max. Nanoscratchlänge, LNS [mm] | 150 | 150 |
| Positioniergenauigkeit, Δx [nm] | ≤ 100 | ≤ 100 |