Konfokales Lasermikroskop Keyence VK-X210
Mittels konfokaler Laserscanningmikroskopie ist es möglich, hochauflösende drei-dimensionale Farbbilder von Oberflächen mit einer hohen Schärfentiefe aufzunehmen. Es handelt sich dabei um eine zerstörungsfreie Analysemethode, da die untersuchten Oberflächen lediglich mit Laserlicht bestrahlt werden. Am IOT steht für diese Analysemethode das System Keyence VK-X210 zur Verfügung. Dieses bietet durch einen zusätzlichen motorisierten xy-Verfahrtisch die Möglichkeit, großflächige Bilder durch Zusammensetzung einzelner Messbilder aufzunehmen.
Technische Daten:
| Parameter | Wert [Einheit] |
|---|---|
| Laser λ [nm] |
Halbleiterlaser, Violett, Wellenlänge λ = 408 nm |
| Objektive | 10x, 20x, 50x, 150x |
| Auflösung lateral | 0,012 µm |
| Auflösung vertikal | 0,0005 µm |
| Messpunkte/Bild | 2.048 x 1.536, 1.024 x 768, 800 x 600 |
| Max. Bildanzahl/Messung | 560 |
| Verfahrweg Tisch | 100 x 100 mm |
| Positioniergenauigkeit | 0,1 - 100 µm/Impuls |