Desktop-REM Phenom XL

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Das Rasterelektronenmikroskop wird zur Abbildung von Oberflächen und Gefügen technischer Werkstoffe eingesetzt. Hierbei wird im Unterschied zu üblichen Mikroskopieverfahren eine Auflösung im Nanometerbereich in Kombination mit hoher Tiefenschärfe erreicht. Mithilfe eines Sekundärelektronendetektors werden Topografieaufnahmen zur Beurteilung von zum Beispiel Bruchflächen erstellt. Zur Darstellung des Materialkontrasts innerhalb einer Probe wird ein Rückstreuelektronendetektor eingesetzt. Weiterhin wird mittels energiedispersiver Röntgen­spektroskopie die chemische Zusammensetzung der Werkstoffe ermittelt. Hierbei können alle Elemente der Ordnungszahlen 4 < Z < 95 detektiert werden. Die Verwendung unterschiedlicher Vakuummodi ermöglicht die Analyse von sowohl elektrisch leitfähigen als auch nicht leitfähigen Werkstoffen, wie zum Beispiel keramischer Beschichtungen. Die Softwareerweiterung „Mapping & Linescan“ ermöglicht es, die Elementverteilung über einen definierten Aufnahmebereich der Probe zu bestimmen und somit mögliche Anreicherungen von Elementen farblich darzustellen, sodass Diffusionsvorgänge wärmebehandelter Proben nachvollziehbar sind. Mit der Zusatzfunktion „Particle Metric“ können Partikelgrößenverteilungen und Formen einfach analysiert werden und mit Hilfe von automatisch erstellen Histogrammen einfach ausgewertet werden. Aufgrund des großen Arbeitsraums können entsprechende Proben ohne vorheriges Trennen und somit zerstörungsfrei analysiert werden. Als typische Anwendungsbeispiele für REM-Untersuchungen lassen sich unter anderem gelötete oder geschweißte Fügeverbindungen und mittels des thermischen Spritzens oder physikalischer Gasphasenabscheidung applizierte Beschichtungen sowie Gussbauteile nennen.

Technische Daten:

Parameter, [Einheit]	Wert
Verfügbare Detektoren	SE-Detektor RSE-Detektor EDS-Detektor
Vakuummodi, p [Pa]	1 – 60
Arbeitsraum, l x b x h [mm]	≤ 100 x 100 x 45