Optisches Emissionsspektrometer PLASUS EMICON SA

  Urheberrecht: © IOT PLASUS EMICON SA (a) und ein beispielhaftes OES-Spektrum (b)

Das Optisches Emissionsspektrometer (OES) dient dazu, Wellenlängeninformationen aus einem Plasma zu messen. Hierfür wird ein Sehstrahl des Plasmas über ein System aus Linsen und Lichtleitern auf ein Prisma oder einen Spalt geleitet. Dort wird der Sehstrahl durch Beugung gespreitet und in Wellenlängen aufgeteilt. Durch die Aufnahme dieses Spektrums mittels einer CCD-Kamera kann das Spektrum nachträglich analysiert und weiterverarbeitet werden. Das PLASUS EMICON SA, PLASUS GmbH, Mering, Deutschland, ist mit insgesamt sechs Spektrometerkanälen ausgestattet. Hier können gleichzeitig sechs Spektren aufgenommen werden. Dies kann beispielsweise genutzt werden, um simultane Messungen an unterschiedlichen Kathoden in einer Beschichtungskammer durch­zuführen. Ein anderes Einsatzszenario ist die Messung an einer Kathode an unterschiedlichen Positionen oder aus unterschiedlichen Blickrichtungen. Auf diese Weise können orts­aufgelöste Messungen durchgeführt werden. Neben dem Plasmamonitoring kann das OES ebenfalls zur Prozessregelung eingesetzt werden.

Technische Daten:

Parameter	Wert [Einheit]
Detektierbarer Wellenlängenbereich	200 nm – 1.100 nm
Spektrale Auflösung	1,5 nm
Anzahl Spektrometerkanäle	6
Anschlüsse	LAN/Profibus
Eingänge für externe Spannungssensoren	6