Optisches Emissionsspektrometer PLASUS EMICON SA
Das Optisches Emissionsspektrometer (OES) dient dazu, Wellenlängeninformationen aus einem Plasma zu messen. Hierfür wird ein Sehstrahl des Plasmas über ein System aus Linsen und Lichtleitern auf ein Prisma oder einen Spalt geleitet. Dort wird der Sehstrahl durch Beugung gespreitet und in Wellenlängen aufgeteilt. Durch die Aufnahme dieses Spektrums mittels einer CCD-Kamera kann das Spektrum nachträglich analysiert und weiterverarbeitet werden. Das PLASUS EMICON SA, PLASUS GmbH, Mering, Deutschland, ist mit insgesamt sechs Spektrometerkanälen ausgestattet. Hier können gleichzeitig sechs Spektren aufgenommen werden. Dies kann beispielsweise genutzt werden, um simultane Messungen an unterschiedlichen Kathoden in einer Beschichtungskammer durchzuführen. Ein anderes Einsatzszenario ist die Messung an einer Kathode an unterschiedlichen Positionen oder aus unterschiedlichen Blickrichtungen. Auf diese Weise können ortsaufgelöste Messungen durchgeführt werden. Neben dem Plasmamonitoring kann das OES ebenfalls zur Prozessregelung eingesetzt werden.
Technische Daten:
Parameter | Wert [Einheit] |
---|---|
Detektierbarer Wellenlängenbereich |
200 nm – 1.100 nm |
Spektrale Auflösung | 1,5 nm |
Anzahl Spektrometerkanäle | 6 |
Anschlüsse | LAN/Profibus |
Eingänge für externe Spannungssensoren | 6 |