Massenspektrometer Hiden Analytical EQP 300

  Urheberrecht: © IOT Massenspektrometer Hiden EQP 300 (a) und schematische Darstellung des Aufbaus (b)

Das energiedispersive Massenspektrometer Hiden EQP 300, Hiden Analytical, Warrington, Großbritannien, ist ein differentiell gepumptes, energiedispersives Spektrometer. Eine Elektronenquelle zur Nachionisation von Neutralteilchen erlaubt ihren Nachweis im sogenannten Restgasanalysemodus. Die Untersuchungen von Ionen erfolgt mittels Sekundärionen­massenspektroskopie. Mit Hilfe des Hiden EQP 300 ist es neben der Bestimmung der chemischen Zusammensetzung des Plasmas ebenfalls möglich, eine Aussage über die Energieverteilung der Neutralteilchen sowie der Ionen zu treffen. Durch den Extraktor und die Elektronenquelle können mit diesem Massen­spektrometer sowohl eine Restgasanalyse durchgeführt werden, als auch einzelne positiv oder negativ geladene Ionen analysiert werden.

Technische Daten:

Parameter	Wert [Einheit]
Detektionsbereich	bis zu 300 amu
Massenauflösung	1 amu bei 5 % der Peakhöhe über den gesamten Massenbereich
Druckbereich	bis zu 0,5 mbar
Massenanalyse mittels eines 3-stufigen Quadrupolfilters Ionenzähldetektor für negative sowie positive Ionen	bis zu 107 cps
Energieanalyse mittels eines 45° Sektorfeldes	bis zu 1.000 eV bei einer Auflösung von < 0,25 eV bei FWHM