Massenspektrometer Inficon Transpector 2

  Massenspektrometer Inficon Transpector 2 Urheberrecht: © IOT Massenspektrometer Inficon Transpector 2

Die Massenspektroskopie ist, zusammen mit der optischen Emissionsspektroskopie, eines der am häufigsten eingesetzten Diagnostiken, die zur Analyse von Plasmen eingesetzt werden. Sie erlaubt es neben dem Messen der internen Plasmaparameter diese direkt zur Überwachung sowie der Kontrolle der Prozesse einzusetzen. Mittels der Massenspektroskopie lassen sich Rückschlüsse auf die chemische Zusammensetzung des Plasmas ziehen. Mit Hilfe des Massenspektrometers Inficon Transpector 2, Leybold GmbH, Köln, Deutschland, ist es möglich, eine Restgasanalyse durchzuführen und die aufgezeichneten Daten direkt für eine Prozessregelung zu verwenden.

Technische Daten:

Parameter Wert [Einheit]
Detektortypen

EM/FC

Detektionsbereich 1 bis 100 amu
Minimal detektierbarer Partialdruck FC: N/A EM: 6,6·10-15 mbar
Maximaler Verwendungsdruck 6,6·10-4 mbar
Temperaturbereich 20 °C bis 50 °C