ICP-8 Sensor

  Urheberrecht: © IOT Schematische Darstellung der Ermittlung von Schichteigenschaften mittels ICP-Sensor

Mit Hilfe des ICP (in-situ coating properties)-Sensors der Firma ReliaCoat Technologies können die Eigenspannungen von TS-Beschichtungen während der Schichtapplikation in situ gemessen werden. Die Bestimmung der Eigenspannung erfolgt indirekt über die Messung der von den Eigenspannungen induzierten Verkrümmung standartisierter Proben. Diese Verkrümmung wird mittels dreier Präzisionslaser auf der Rückseite der Probe bestimmt. Darüber hinaus wird die Substrattemperatur an zwei Stellen erfasst. Nach dem Beschichtungsprozess können Aussagen bezüglich der Schichteigenspannungen und dem E-Modul der Beschichtung getroffen werden. Weiterhin werden die Eigenspannungen in Abschreckeigenspannungen, durch die schlagartige Erstarrung der Spritzpartikel, und in Abkühleigenspannungen, durch unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten, aufgeteilt. Diese Kennwerte bilden die Grundlage für die Anpassung des Eigenspannungszustands der Beschichtungen.

Technische Daten:

Parameter, [Einheit]	Wert
Abmaße Substratplatte [mm x mm]	230 x 25
Substratmaterial	1.1018, 1.4404, nach Absprache weitere Materialien möglich
Konfiguration	3 Laser zur Abstandsmessung, 2 Thermoelemente zur Messung der Substrattemperatur
Genauigkeit	Abstandsmessung mit 1 µm Genauigkeit