PVD-Technologie

 

Das IOT umfasst zwei Forschungs- und Entwicklungsgruppen, die sich mit der PVD (Physical Vapour Deposition)-Technologie beschäftigen. Der Schwerpunkt des F&E-Bereichs PVD-Bauteilbeschich­tung liegt auf der Erforschung und Applikation von PVD-Dünnschichten auf Maschinenelementen für vielfältige Anwendungen u.a. in den Bereichen Luftfahrttechnik, Energietechnik, Mobilität und Verkehrstechnik. Komponenten und Maschinenelemente unterliegen in Abhängigkeit des tribologischen Systems komplexen Belastungen. Unter Berücksichtigung dieser Belastungen müssen die Dünnschichten entsprechende Funktionen, wie z.B. Verschleißschutz oder Reibungsreduzierung übernehmen. Die Forschung und Entwick­lung von innovativen Werkstofflösungen für die verschiedenen Bauteilanwendungen wird im Rahmen von öffentlich geförderten Projekten und in enger Zusammenarbeit mit der Industrie in bilateralen Projekten durchgeführt. Der F&E-Bereich PVD-Werkzeugbeschichtung befasst sich schwerpunktmäßig mit der Werkstoff- und Beschichtungsentwicklung für Zerspan-, Umform und Urformprozesse. Es werden verschiedene international und national geförderte Projekte mit dem Ziel der Entwicklung neuartiger PVD-Beschich­tungen zum Schutz von Werkzeugen bearbeitet. Beide Arbeitsgruppen verfügen neben innovativen Technologien wie der High-Speed Physical Vapour Deposition (HS-PVD) über alle derzeit am Markt erhältlichen und industriell eingesetzten Verfahrens­varianten, wie das Elektronenstrahlverdampfen (EB-PVD), das Magnetron-Sputtering (MS) in verschiedenen Varianten mit unter­schiedlichen Kammervolumina sowie das Arc-Licht­bogen­verdampfen (Arc) und auch die neueste Generation des High Power Pulse Magnetron Sputtering (HPPMS), auch High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS).

 

Folgende Anlagen stehen im Bereich PVD-Technologie am IOT zur Verfügung:

EB-PVD

CemeCon CC800/9 Custom

CemeCon CC800/9 Custom - Modellanlage

CemeCon CC800/9 HPPMS

CemeCon CC800/9 SinOx

Flexicoat 850

HS-PVD

Leybold Heraeus Z400

Metaplas Ionon 20"

PVT 550